ระบบออปติกการสแกนแบบไดนามิก: เลนส์โฟกัสเล็ก 1 ชิ้น เลนส์โฟกัส 1-2 ชิ้น กระจกแบบ Galvo เลนส์ออปติกทั้งหมดทำหน้าที่ขยายลำแสง โฟกัส การเบี่ยงเบนลำแสง และการสแกน
ส่วนขยายเป็นเลนส์ลบ คือ เลนส์โฟกัสขนาดเล็ก ซึ่งทำหน้าที่ขยายลำแสงและซูมแบบเคลื่อนที่ เลนส์โฟกัสประกอบด้วยกลุ่มเลนส์บวก กระจกกัลโวเป็นกระจกในระบบกัลวาโนมิเตอร์
(1) การเพิ่มประสิทธิภาพการออกแบบเลนส์: อัตราส่วนเส้นผ่านศูนย์กลางต่อความหนาที่เหมาะสมที่สุด
(2) เลนส์มีเกณฑ์ความเสียหายสูง:>30J/cm2 10ns
(3) การเคลือบดูดซับต่ำพิเศษ อัตราการดูดซึม: <20ppm
(4) อัตราส่วนความหนาของกัลวาโนมิเตอร์ต่อเส้นผ่านศูนย์กลาง: 1：35
(5) ความแม่นยำของพื้นผิวเลนส์: <= λ/5
เลนส์หลังวัตถุ
| รูม่านตาทางเข้าสูงสุด (มม.) | เลนส์ 1 เส้นผ่านศูนย์กลาง(มม.) | เลนส์ 2 เส้นผ่านศูนย์กลาง(มม.) | เลนส์ 3 เส้นผ่านศูนย์กลาง (มม.) | สแกนฟิลด์ (มม.) | รูรับแสงที่ชัดเจน ของสแกนเนอร์ (มม.) | ความยาวคลื่น |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6 ไมโครเมตร |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090นาโนเมตร |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 นาโนเมตร |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 นาโนเมตร |
กระจกสะท้อนแสง
| คำอธิบายชิ้นส่วน | เส้นผ่านศูนย์กลาง(มม.) | ความหนา(มม.) | วัสดุ | การเคลือบ |
| แผ่นสะท้อนแสงซิลิคอน | 25.4 | 3 | ซิลิคอน | HR@10.6um,อาโอไอ: 45° |
| แผ่นสะท้อนแสงซิลิคอน | 30 | 4 | ซิลิคอน | HR@10.6um,อาโอไอ: 45° |
| ไฟเบอร์รีเฟล็กเตอร์ | 25.4 | 6.35 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| ไฟเบอร์รีเฟล็กเตอร์ | 30 | 5 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| ไฟเบอร์รีเฟล็กเตอร์ | 50 | 10 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 532 | 25.4 | 6 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 532 | 25.4 | 6.35 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 532 | 30 | 5 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 532 | 50 | 10 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 355 | 25.4 | 6 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 355 | 25.4 | 6.35 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 355 | 25.4 | 10 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| ตัวสะท้อนแสง 355 | 30 | 5 | ซิลิกาหลอมรวม | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
กระจกกัลโว
| คำอธิบายชิ้นส่วน | รูม่านตาทางเข้าสูงสุด (มม.) | วัสดุ | การเคลือบ | ความยาวคลื่น |
| ยาว 55 มม.*กว้าง 35 มม.*สูง 3.5 มม. ยาว 62 มม.*กว้าง 43 มม.*สูง 3.5 มม. | 30 | ซิลิคอน | MMR@10.6um | 10.6 ไมโครเมตร |
| ยาว 55 มม.*กว้าง 35 มม.*สูง 3.5 มม. ยาว 62 มม.*กว้าง 43 มม.*สูง 3.5 มม. | 30 | ซิลิกาหลอมรวม | อัตราการเต้นของหัวใจที่ 1030-1090 นาโนเมตร | 1030-1090นาโนเมตร |
| ยาว 55 มม.*กว้าง 35 มม.*สูง 3.5 มม. ยาว 62 มม.*กว้าง 43 มม.*สูง 3.5 มม. | 30 | ซิลิกาหลอมรวม | อัตราการเต้นของหัวใจที่ 532 นาโนเมตร | 532 นาโนเมตร |
| ยาว 55 มม.*กว้าง 35 มม.*สูง 3.5 มม. ยาว 62 มม.*กว้าง 43 มม.*สูง 3.5 มม. | 30 | ซิลิกาหลอมรวม | อัตราการเต้นของหัวใจที่ 355 นาโนเมตร | 355 นาโนเมตร |
เลนส์ป้องกัน
| เส้นผ่านศูนย์กลาง(มม.) | ความหนา (มม.) | วัสดุ | การเคลือบ |
| 75 | 3 | สังกะสีซีอี | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | สังกะสีซีอี | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | สังกะสีซีอี | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | สังกะสีซีอี | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | สังกะสีซีอี | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | สังกะสีซีอี | AR/AR@10.6um |
