เลเซอร์ออปติกออปติกเป็นที่นิยมอย่างมากในแผงวงจรพิมพ์แบบอ่อนและบางพิเศษ การประยุกต์ใช้เลเซอร์นี้เหมาะสำหรับการกัดกรดบนแผ่น Ag ที่ต้องการความสม่ำเสมอของขนาดลำแสงและพื้นที่การกระทบความร้อนที่แคบมาก Ftheta มีการออกแบบและการเคลือบที่ซับซ้อน
Carmanhaas นำเสนออุปกรณ์ออปติกสำหรับการกัดด้วยเลเซอร์ระดับมืออาชีพ ส่วนประกอบออปติกส่วนใหญ่หมายถึงส่วนประกอบออปติกที่ใช้ในการกัดแผงวงจร ระบบออปติกเหล่านี้โดยทั่วไปประกอบด้วยระบบสแกนกัลวาโนมิเตอร์ ซึ่งรวมถึงตัวขยายลำแสง กัลวาโนมิเตอร์ และเลนส์สแกน F-THETA
(1) ความแม่นยำของพื้นผิวเลนส์ < λ/5 จำเป็นต้องมีแผนการประกอบเลนส์วัตถุเพื่อให้แน่ใจว่าความสูงของจุดมีความสม่ำเสมอ
(2) ความสม่ำเสมอของจุดโฟกัสแบบเต็มรูปแบบ >95%
(3) ความสม่ำเสมอของระนาบโฟกัส <0.5 มม.
(4) อัตราส่วนความยาวโฟกัสของรูปแบบ >1.05
เลนส์ F-Theta 1064 นาโนเมตร
| คำอธิบายชิ้นส่วน | ระยะโฟกัส (มม.) | สแกนฟิลด์ (มม.) | ทางเข้าสูงสุด รูม่านตา (มม.) | ระยะการทำงาน (มม.) | การติดตั้ง ด้าย |
| สล-1064-140-200 | 200 | 140x140 | 14 | 208 | เอ็ม85x1 |
| SL-1064-185-255-(16CA) | 255 | 185x185 | 16 | 274 | เอ็ม85x1 |
ตัวขยายลำแสง 1064 นาโนเมตร
| คำอธิบายชิ้นส่วน | การขยายตัว อัตราส่วน | อินพุต CA (มม.) | เอาท์พุต CA (มม.) | เส้นผ่านศูนย์กลางตัวเรือน (มม.) | ที่อยู่อาศัย ความยาว (มม.) | การติดตั้ง ด้าย |
| BE-1064-D23:40.5-1.5x | 1.5 เท่า | 10 | 20.7 | 27 | 40.5 | M22*0.75 |
| BE4-(1030-1090)-D35:163.9-Z14x | 1X-4X | 20 | 35 | 44 | 163.9 | / |
| BE4-(1030-1090)-D34:162.6-Z210x | 2X-10X | 14 | 34 | 40 | 162.6 | / |
กระจก 1064 นาโนเมตร
| เส้นผ่านศูนย์กลาง (มม.) | ความหนา (มม.) | การเคลือบ |
| 25.4 | 6.35 | HR@1030-1090nm, AOI 45° |
| 30 | 5 | HR@1030-1090nm, AOI 45° |
| 50 | 10 | HR@1030-1090nm, AOI 45° |
